（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910481991.2 （22）申请日 2019.06.04
（71）申请人 华经信息技术(上海)有限公司
地址 200333 上海市普陀区祁连山南路21弄105号6340室
（10）申请公布号 CN110233122A
（43）申请公布日 2019.09.13
（72）发明人 冯宇;夏利敏;崔琴
（74）专利代理机构 上海精晟知识产权代理有限公司
代理人 冯子玲
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
半导体生产线MES系统及其实验方法
（57）摘要
本发明公开了一种半导体生产线MES系
统，包括：MES核心，所述MES核心包括：工艺流程控制模块分别与设备通讯终端、主数据管理模块、调度器、调度程序模块通信，其中，还包括实验管理模块，所述实验管理模块与所述主数据管理模块、所述工艺流程控制模块通信。一种半导体生产线MES系统的实验方法，其中，实验管理模块获取MES系统中的主工艺流程，实验管理模块将主工艺流程中一个及以上的工艺步骤替
换为实验工艺步骤。本发明在现有的MES系统中增加了的实验管理模块，实验管理模块可以获取主工艺流程，并可以根据需要将主工艺流程中的工艺步骤替换为实验工艺步骤，从而，本发明可以在不停机的基础上进行自动化的实验模式。
法律状态
法律状态公告日2019-09-13 2019-09-13 2019-10-15
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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权利要求说明书
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说明书
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