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专利名称：OLED显示屏真空干膜装置专利类型：实用新型专利发明人：李春风,吴聪原申请号：CN201521131337.2申请日：20151231公开号：CN205344141U公开日：20160629
摘要：本实用新型公开了一种OLED显示屏真空干膜装置，其包括：箱体；冷热板，其固定安装于箱体内，冷热板还连接冷却加热源；第一真空泵，其安装于箱体的顶部，从箱体的顶部对箱体的内部抽真空；第二真空泵，其相对第一真空泵安装于箱体的底部，从箱体的底部对箱体的内部抽真空。本实用新型可以使得OLED的湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂被有效地去除掉，有效地解决了OLED湿法工艺中的干燥处理问题，从而提高生产效率、降低生产成本，使工业界突破大尺寸OLED显示成为可能。
申请人：威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
地址：215026 江苏省苏州市苏州工业园区杏林街78号新兴产业工业坊2号厂房
国籍：CN
代理机构：苏州华博知识产权代理有限公司
代理人：何蔚
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