一种臭氧产生提纯系统

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN2020100551.X （22）申请日 2020.01.20

（71）申请人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

地址 200050 上海宁区长宁路865号

（10）申请公布号 CN111252739A

（43）申请公布日 2020.06.09

（72）发明人 陈文清;沈大伟;刘正太;江志诚;刘万领;黄喆;卢祥乐 （74）专利代理机构 广州三环专利商标代理有限公司

代理人 郝传鑫

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种臭氧产生提纯系统

（57）摘要

本申请提供一种臭氧产生提纯系统，包

括：供氧装置、臭氧发生装置、臭氧分离装置、控制装置和气路管道；供氧装置能够提供氧气；臭氧发生装置能够将氧气电解为包含氧气和臭氧的混合气体；臭氧分离装置能够将混合气体中的臭氧分离，臭氧分离装置内设有臭氧吸附装置；供氧装置、臭氧发生装置和臭氧分离装置通过气路管道依次连通，气路管道包括多个支路管道；控制装置能够控制多个支路管道开启或关闭，且

控制装置能够多个支路管道的气压。本申请提供的臭氧产生提纯系统的臭氧分离装置内设有臭氧吸附装置，能够进行臭氧的收集，控制装置能够控制多个支路管道开启或关闭，多个支路管道的气压，有效防止气路压力增大，安全系数高。

法律状态

法律状态公告日2020-06-09 2020-06-09 2020-07-03

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

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公开 公开

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权利要求说明书

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说明书

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