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专利名称：真空制膜装置专利类型：实用新型专利发明人：樊新召,李明洁申请号：CN201920260714.4申请日：20190228公开号：CN2100454U公开日：20200211
摘要：本实用新型涉及薄膜电池制备技术领域，提供一种真空制膜装置，所述真空制膜装置(1)包括设置有能够供制膜基板(15)进出的可开合的窗(100)的密闭壳体(10)、设置在所述密闭壳体内且能够固定所述制膜基板的安装基座(11)、配置为能够对所述密闭壳体抽真空的抽真空机构(12)以及喷料机构(14)，所述喷料机构具有安装在所述密闭壳体内的喷头(142)，并且所述喷料机构设置为能够容纳喷涂原料且在所述抽真空机构对所述密闭壳体抽真空的作用下所述喷头能够将喷涂原料喷涂在所述制膜基板上。上述真空制膜装置以抽真空的方式向制膜基板喷涂原料制膜，整个制膜过程简单，可操作性强，提高了制膜效率。
申请人：蜂巢能源科技有限公司
地址：213000 江苏省常州市金坛区华城中路168号
国籍：CN
代理机构：北京润平知识产权代理有限公司
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