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专利名称:发光二极管芯片的制造方法专利类型:发明专利
发明人:袁根如,郝茂盛,颜建锋,李士涛,陈诚,董云飞申请号:CN200910048632.4申请日:20090331公开号:CN101515624A公开日:20090826
摘要:本发明涉及一种发光二极管芯片的制造方法,在蓝宝石衬底表面制造出凸包形周期性排列的微结构,之后在该衬底的上表面形成缓冲层,在该缓冲层上形成n型半导体层,在该n型半导体层的一部分上形成发光层,在该发光层上形成p型半导体层;以及在该n型半导体层的另一部分和p型半导体层上分别形成n电极和p电极。由于在衬底上形成了蒙古包形周期性排列的微结构,可以减少界面反射并减少内部吸收,可有效改善外延生长的缺陷,从而提高了发光二极管芯片的发光效率。
申请人:上海蓝光科技有限公司
地址:201203 上海市浦东新区张江高科技园区芳春路400号
国籍:CN
代理机构:上海光华专利事务所
代理人:余明伟
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