溅镀装置

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201821174155.7 （22）申请日 2018.07.24

（71）申请人 威欣系统股份有限公司

地址 中国台南市

（10）申请公布号 CN208632634U

（43）申请公布日 2019.03.22

（72）发明人 方振籛;郭金柱;郑博仁;黄泳钊 （74）专利代理机构 北京泰吉知识产权代理有限公司

代理人 张雅军

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

溅镀装置

（57）摘要

一种溅镀装置，适用于将靶材的材料溅射

出以在基板上镀膜，并适用于通入冷却流体。该溅镀装置包含腔体、用于承载该基板的载台、用于在该基板上镀膜的镀膜单元、遮罩单元、第一冷却单元，及第二冷却单元。该第一冷却单元位于该载台下方，并界定出供该冷却流体流动以冷却该载台与该基板的流道。通过该第一冷却单元冷却该载台、吸收基板热能，搭配该第二冷却单元冷却该遮罩单元，进而可降低工作温度，使基

板可维持在较低温，因此塑胶类基板也可以利用本实用新型来镀膜加工，本实用新型可用的基板材质较不受限，应用上灵活、方便。

法律状态

法律状态公告日

2019-03-22

授权

法律状态信息

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说明书

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