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专利名称：一种金属有机物化学气相沉积设备放空压力控制装
置
专利类型：实用新型专利发明人：李刚,常依斌,王占柱申请号：CN201020546867.4申请日：20100929公开号：CN2020727U公开日：20111214
摘要：本实用新型公开一种金属有机物化学气相沉积设备放空压力控制装置，该方法主要包括运行管线(1)、放空管线(2)、运行隔膜阀(3)、放空隔膜阀(4)、压力计(5)、蝶阀(6)、气体质量流量控制器(7)、金属有机源(8)、反应室(9)、尾气系统(10)。放空管线(2)上安装有压力计(5)和蝶阀(6)，而且压力计(5)在蝶阀(6)的上游，两者形成负反馈回路，通过压力计(5)实时测量放空管线(2)压力，并由蝶阀(6)将设定压力和实测压力进行比较，蝶阀(6)通过调节开度完成放空管线(2)压力的实时控制。
申请人：上海蓝宝光电材料有限公司
地址：201616 上海市松江区文俊路2号
国籍：CN
代理机构：深圳市顺天达专利商标代理有限公司
代理人：林俭良
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