专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：分析薄膜表面粗糙度的方法专利类型：发明专利发明人：陈瑞兴
申请号：CN03100868.2申请日：20030123公开号：CN1519556A公开日：20040811
摘要：一种分析薄膜表面粗糙度的方法，此方法是首先扫描一薄膜表面，以取得薄膜表面的一波峰信号。接着，取得波峰信号在一固定比例高度的高度值，并且取得波峰信号在该高度位置的宽度值。之后，将此高度值除以此宽度值，即为薄膜表面的尖锐度。倘若薄膜表面的尖锐度小于一标准值，即表示薄膜表面粗糙度符合标准。利用本发明的分析方法可以确实的反映出薄膜表面的粗糙度。
申请人：友达光电股份有限公司
地址：省新竹科学工业园区新竹市力行二路一号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：王学强
更多信息请下载全文后查看
