一种千级无尘室空调系统

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201922347214.7 （22）申请日 2019.12.24

（71）申请人 苏州惠丰净化设备有限公司

地址 215000 江苏省苏州市高新区文昌路18号

（10）申请公布号 CN2113725U

（43）申请公布日 2020.08.28

（72）发明人 鲁明志;尹永周;王善余 （74）专利代理机构 江苏昆成律师事务所

代理人 刘尚轲

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种千级无尘室空调系统

（57）摘要

为了解无尘室能具有更好的的洁净度、温

湿度及压力等性能的问题，本实用新型提出一种千级无尘室空调系统，其包括：新风系统和室内壳体，室内壳体的顶部设有送风口，送风口的下方设有洁净送风单元FFU，其特征在于：洁净送风单元FFU满布在室内壳体内部顶端，每个洁净送风单元FFU的内部设有电机，室内壳体的两侧设有技术夹道，技术夹道靠近洁净送风单元FFU处设有干盘管，干盘管连接技术夹道和顶部静压

箱，排风管连接有第二风机，空气由新风系统过滤加湿或表冷除湿后通过在无尘室室内壳体内部顶端满布洁净送风单元FFU，空气由上往下均匀送风，在制程中所产生的尘埃可快速被FFU中高效过滤器捕获，工艺生产中产生的废气颗粒物接入排风管道排出室外。

法律状态

法律状态公告日

2020-08-28

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授权

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说明书

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